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DSP （金剛石擦洗墊）是新一代清洗工具，主要用于半導體設備的預防性維護清洗。純金剛石被涂在聚酰胺薄膜（聚酯薄膜）上。可提供不同的鉆石大小和墊形狀
為提高生產率而設計
更快 清洗
更少 顆粒和污染物的產生
更短 工具再鑒定時間
更短 預防性維護總實際
更長 保養周期
更長 工具生產可能性
適用于防止陽極氧化鋁、陶瓷等關鍵表面的損壞…
擦洗領域
通過真空室的過程 :
離子注入
干蝕刻
CVD PVD
ALD
? 快速清洗工具和零件表面:
材料:
鋁 / 陽極氧化鋁
不銹鋼
陶瓷
石英玻璃
石墨
Chemat 清洗過程
鋁蝕刻
CVD 室清洗
CVD 圓頂清洗
介質蝕刻室清洗 (聚氧化物)
蝕刻室零件清洗 (插入件)
注入套管清洗
注入零件清洗 (Insitu or Exsitu)
金屬蝕刻室清 DSP 粗糙度類型可用性
細 中 粗
Mesh
3 000
1 600
600
250
250D
220
170
Grit
2000
1350
800
450
400
360
320
280
180
120
μm equiv.
6
12
35
80
95
產品即將上線中?。?！
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